三星“激光結(jié)晶化裝置”專利公布

近日，據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，三星顯示有限公司申請一項名為“激光結(jié)晶化裝置”的專利，公開號 CN 118841313 A，申請日期為 2023 年 10 月。

專利摘要顯示，激光結(jié)晶化裝置包括：光源部，產(chǎn)生激光束；第一窗體，與光源部隔開，并使激光束透射；光束切割器，配置于第一窗體 的下方，并阻斷透射第一窗體 的激光束的一部分；腔室，配置于光束切割器的下方；光束檢測部，配置于腔室的內(nèi)部；第一鏡，配置于光束切割器的表面，并反射激光束；第二鏡，配置于光束檢測部上，并反射激光束；以及光束收集器，與第一窗體 在第一方向上隔開，并消散反射的激光束。