利用Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)軟件設(shè)計(jì)了一款適用于光學(xué)成像尺寸為38 mm的互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）型工業(yè)相機(jī)的高分辨率測(cè)量鏡頭，該工業(yè)相機(jī)用于自動(dòng)化定量分析檢測(cè)顯微鏡像差。通過數(shù)碼圖像處理的方式去評(píng)判顯微鏡物鏡性能的好壞。在滿足性能要求基礎(chǔ)上，對(duì)普通的測(cè)量鏡頭結(jié)構(gòu)加以優(yōu)化，使得測(cè)量鏡頭擁有非常高的分辨率。該鏡頭焦距為36 mm，后工作距約為32 mm，視場(chǎng)像面高度為36 mm，在90 lp/mm處，中心視場(chǎng)調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）值大于0.45，邊緣視場(chǎng)MTF值大于0.25。
