采用CCD顯微成像系統(tǒng)對光學(xué)系統(tǒng)彌散斑參數(shù)進(jìn)行定量測量，并設(shè)計(jì)了彌散斑參數(shù)的評價(jià)算法。首先，給出了彌散斑參數(shù)的定義，分析了彌散斑所形成的能量等高線構(gòu)成的閉合的連通區(qū)域，對占總能量80%的區(qū)域計(jì)算其彌散斑直徑。然后,對該區(qū)域的邊界點(diǎn)進(jìn)行橢圓擬合，得到彌散斑圓度。提出的方法通過對光學(xué)系統(tǒng)在像平面所成的星點(diǎn)像的能量分布的分析，在彌散斑圓度測試中引入了橢圓擬合，減少了CCD噪聲和測試環(huán)境中的雜光等隨機(jī)因素對測試結(jié)果的影響,提高了測試結(jié)果的置信度。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示:彌散斑直徑測試重復(fù)性為0.18μm，彌散斑圓度測試重復(fù)性為1.65%。提出的方法實(shí)現(xiàn)了彌散斑參數(shù)的定量測試，滿足航天項(xiàng)目中光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量控制要求。
