VirtualLab Fusion
軟件可以對(duì)
光學(xué)測(cè)量
系統(tǒng)進(jìn)行仿真,如干涉儀、光譜儀以及表面測(cè)量器件。
*:q3<\y{ 很多光學(xué)測(cè)量原理都是基于光的波動(dòng)特性。典型的器件有:
@}K'Ic D-/K'|b 干涉儀
XF{ g~M 光譜儀&單色儀
t]~Lo3 表面計(jì)量系統(tǒng)
4dXuy>Km 1}C|Javkn VirtualLab Fusion 軟件可以對(duì)這些測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行仿真及公差分析。許多設(shè)置都是以衍射效應(yīng)、干涉效應(yīng)以及時(shí)間和空間相干性為特點(diǎn)。VirtualLab的場(chǎng)追跡引擎進(jìn)行快速精確的測(cè)量系統(tǒng)建模的同時(shí)考慮了這些物理光學(xué)效應(yīng)。
af61!?K ?=B$-)/ O;9'0-F ? xq2{0q VirtualLab Fusion軟件的特性:
?q(7avS9 ?v>!wuiP 基于物理光學(xué)的計(jì)量系統(tǒng)仿真
/#z5bo 包含部分相干和衍射效應(yīng)
gv}Esps
R 尤其對(duì)傾斜和偏移的公差分析
%pNK ?M+ 真彩色獲取
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