一、引言 I0oM\~#
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電荷耦合器件（CCD）是以電荷為信號載體的傳感器，屬于集成光電傳感器，主要應(yīng)用于光電圖像的傳感。自從CCD于1970年首先在美國研制成功，它就一系列與眾不同、無可比擬的優(yōu)勢就顯示出來：靈敏度高、幾何尺寸精確、光譜響應(yīng)寬、動態(tài)范圍大、操作容易、維護(hù)方便等。一般說來，CCD輸出信號有以下幾個特點(diǎn): rz0~W6 U
(1)能夠輸出與光像位置相對應(yīng)的時(shí)序信號。 bWAhK@epI
(2)能夠輸出各個脈沖彼此獨(dú)立相間的模擬信號。 1c WUPVQ
(3)能夠輸出反映焦點(diǎn)面信息的信號。 :N5R.@9
我們將光源、光學(xué)系統(tǒng)與這三個特點(diǎn)相結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)尺寸的測量。而尺寸的測量在一些場合時(shí)非常有必要的，特別是高精度尺寸測量。在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗(yàn)中，經(jīng)常碰到微小尺寸的檢測問題，如細(xì)絲、薄板、狹縫等，不僅費(fèi)時(shí)費(fèi)力，而且精度較低，不便于實(shí)時(shí)檢測、顯示和控制，其應(yīng)用范圍也受到一定的限制⋯。近年來，利用線陣CCD進(jìn)行無接觸一維測量已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用。線陣CCD器件具有許多優(yōu)點(diǎn)： 8E1swH5 z
（1）非接觸式，避免對所測器件的損傷。 U.U N=uv_
（2）高速測量，動態(tài)性能好，可以測高速機(jī)械運(yùn)動的物體的尺寸。 h_L-M}{OG
（3）空間分辨率高，可以實(shí)現(xiàn)高精度測量。 +K2jYgy
（4）空間自掃描可以實(shí)現(xiàn)量的絕對測量。 DWZ!B7Ts
（5）可靠性高，可以在很惡劣的環(huán)境下工作。 i[A$K~f
（6）其線掃描輸出的光電信號有利于其后續(xù)信號處理，便于同計(jì)算機(jī)組成高性能測控系統(tǒng)。 RVtb0FL
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典型的CCD光電測試系統(tǒng)由光源、光學(xué)系統(tǒng)、CCD傳感器、信號采集與處理電路以及后續(xù)處理系統(tǒng)組成。本文將介紹幾種測量不同量級尺寸的方法，可以分為微小尺寸、中尺寸、大尺寸，并且給出了信號處理方法，重點(diǎn)是高性能微分電路的實(shí)現(xiàn)和二值化過程的實(shí)現(xiàn)。 G (Fi
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全文見附件。 ($&i\e31N
