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    [推薦]VLF示例-抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2016-06-19
    案例514(2.0) r=yK,d/1  
    qV5DW0.  
    該應(yīng)用案例演示了對(duì)亞波長(zhǎng)尺寸的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化。此外,對(duì)直徑和高度等結(jié)構(gòu)參數(shù)的影響進(jìn)行了研究,并說明了反射率對(duì)波長(zhǎng)及入射角變化的敏感度。 *yl>T^DjTC  
    >]o}}KF?  
    1. 建模任務(wù) M#|dIbns H  
    n G_6oe*=I  
     對(duì)全部反射光進(jìn)行嚴(yán)格仿真并對(duì)結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化。 V]*b4nX7  
    @ HZKc\1  
     假設(shè)確定的蛾眼結(jié)構(gòu)作為截錐三維光柵
    lL]y~u  
    2. 建模任務(wù):3維平頂錐 Y>jiXl?&  
    p ?wI9GY  
    3. 3維光柵結(jié)構(gòu)建模 6<K6Y5<6  
    7d92 Pe  
    ~=R SKyzt  
     VirtualLab提供了不同預(yù)定義的光學(xué)界面用來簡(jiǎn)化復(fù)雜3維光柵的設(shè)計(jì)。 eNiaM6(J  
    &rkEK4  
     例如截錐金字塔和錐體可從現(xiàn)有目錄中選擇。 (C]o,7cYS  
    i#%aTRKHd6  
     可將周期性再現(xiàn)功能應(yīng)用于任意形狀光學(xué)界面,用來建立微透鏡陣列或混合透鏡。
    EyY.KxCB  
    4. 結(jié)構(gòu)參數(shù) ie-vqLc  
    nx0K$ Ptq  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù): DcSnia62f  
    1. 高度因子:1(該參數(shù)可用于翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)) v&Kqq!DE  
    2. 底部直徑:125nm RpLE 02U  
    3. 周期尺寸:125nm ?eV4 SH  
    優(yōu)化過程中變化的參數(shù): AIA6yeaU  
    1. 高度(頂圓直徑=30nm) K'#E3={tt  
    2. 頂部直徑(高度為1中優(yōu)化后的高 tGB@$UmfU  
    g/13~UM\  
    5. 3維截錐結(jié)構(gòu)的建模 Xl74@wq   
    Vf(6!iRP@  
    C"IKt  
     VirtualLab提供了不同選項(xiàng)來設(shè)計(jì)3維截錐結(jié)構(gòu)。 nC{%quwh{  
    0a"igq9t  
     如高度、頂部及底部直徑等重要的參數(shù)可非常方便地進(jìn)行調(diào)整。 02BuX]_0g  
    wf1lyS  
     通過“周期化”標(biāo)簽,所有指定的面都可被周期化定義。
    b,8{ X<  
    a~8[<F