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案例514(2.0) r=yK,d/1 qV5DW0. 該應(yīng)用案例演示了對(duì)亞波長(zhǎng)尺寸的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化。此外,對(duì)直徑和高度等結(jié)構(gòu)參數(shù)的影響進(jìn)行了研究,并說明了反射率對(duì)波長(zhǎng)及入射角變化的敏感度。 *yl>T^DjTC >]o}}KF? 1. 建模任務(wù) M#|dIbns
H nG_6oe*=I 對(duì)全部反射光進(jìn)行嚴(yán)格仿真并對(duì)結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化。 V]*b4nX7 @HZKc\1 假設(shè)確定的蛾眼結(jié)構(gòu)作為截錐三維光柵。 lL]y~u 2. 建模任務(wù):3維平頂錐 Y>jiXl?&
p ?wI9GY 3. 3維光柵結(jié)構(gòu)建模 6<K6Y5<6 7d92Pe ~=R SKyzt VirtualLab提供了不同預(yù)定義的光學(xué)界面用來簡(jiǎn)化復(fù)雜3維光柵的設(shè)計(jì)。 eNiaM6(J &rkEK4 例如截錐金字塔和錐體可從現(xiàn)有目錄中選擇。 (C]o,7cYS i#%aTRKHd6 可將周期性再現(xiàn)功能應(yīng)用于任意形狀光學(xué)界面,用來建立微透鏡陣列或混合透鏡。 EyY.KxCB 4. 結(jié)構(gòu)參數(shù) ie-vqLc nx0K$Ptq 優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù): DcSnia62f 1. 高度因子:1(該參數(shù)可用于翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)) v&Kqq!DE 2. 底部直徑:125nm RpLE
02U 3. 周期尺寸:125nm ?eV4SH 優(yōu)化過程中變化的參數(shù): AIA6yeaU 1. 高度(頂圓直徑=30nm) K'#E3={tt 2. 頂部直徑(高度為1中優(yōu)化后的高 tGB@$UmfU g/13~UM\ 5. 3維截錐結(jié)構(gòu)的建模 Xl74@wq Vf(6!iRP@ C"IKt VirtualLab提供了不同選項(xiàng)來設(shè)計(jì)3維截錐結(jié)構(gòu)。 nC{%quwh{ 0a"igq9t 如高度、頂部及底部直徑等重要的參數(shù)可非常方便地進(jìn)行調(diào)整。 02BuX]_0g wf1lyS 通過“周期化”標(biāo)簽,所有指定的面都可被周期化定義。 b,8{ X< a~8[<F
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