|
|
案例514（2.0） gBWr)R !mWm@ }Ujg 該應(yīng)用案例演示了對亞波長尺寸的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴格分析與優(yōu)化。此外，對直徑和高度等結(jié)構(gòu)參數(shù)的影響進行了研究，并說明了反射率對波長及入射角變化的敏感度。 \(=xc2
m5]
a 1. 建模任務(wù) ? p[Rv uit.r^8l
對全部反射光進行嚴格仿真并對結(jié)構(gòu)參數(shù)進行優(yōu)化。 q 9VBK(,X
G#f3
WpD
假設(shè)確定的蛾眼結(jié)構(gòu)作為截錐三維光柵。 G(shZ=fq 2. 建模任務(wù)：3維平頂錐 .waj.9&[l w'_|X& @H 3. 3維光柵結(jié)構(gòu)建模 ?IS[2 v$ _-#o[ >2[ J4 j:nd
VirtualLab提供了不同預(yù)定義的光學(xué)界面用來簡化復(fù)雜3維光柵的設(shè)計。 eHGx00:
F4"bMN
例如截錐金字塔和錐體可從現(xiàn)有目錄中選擇。 qf ]le] J
@p/"]zf
可將周期性再現(xiàn)功能應(yīng)用于任意形狀光學(xué)界面，用來建立微透鏡陣列或混合透鏡。 9An \uH)mL 4. 結(jié)構(gòu)參數(shù) Uc ,..
FqG MHM\J 優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù)： w8 N1-D42 1. 高度因子：1(該參數(shù)可用于翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)) 2*cc26o 2. 底部直徑：125nm 7I]?:%8 h 3. 周期尺寸：125nm g2^{+,/^K 優(yōu)化過程中變化的參數(shù)： 2h]CZD4 1. 高度(頂圓直徑=30nm) (M
u;U!M"P 2. 頂部直徑(高度為1中優(yōu)化后的高 +>2.O2)%q
ez%:>r4 5. 3維截錐結(jié)構(gòu)的建模 yA*U^:%
5
|
