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案例386（1.0） ;~1/eF .pu`\BW> 關鍵詞： 衍射光學元件、DOE、高數值孔徑，畸變補償，幾何畸變，枕形，桶形，強度衰減，功率、陡降、損耗、預備信號場、光圖形、迭代傅里葉變換算法、IFTA、模組、分束器、衍射 %ucmJ-< y#
b8b PK< 1. 摘要 &40JN}
;| $]Qq 通過該案例闡述了如何利用迭代傅里葉變換算法進行高數值孔徑衍射分束器設計。 %},S#5L3 通過來分束器可以生成一個5x5規(guī)則的點陣圖形。 RVKa qJ0e< 然而，由于偏轉角較大使得目標平面上這個規(guī)則的5x5點陣圖案產生了一個形變。 9q ,Jq B 可以利用VirtualLab 模塊 Mod014 在迭代傅里葉變換算法設計中預補償該圖形的形變。 JpHs Q8< r`E1<aCr| 2. 設計任務：規(guī)則的5×5光束分束器 W-ND<=:Up
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Q ThQEQ6y 設計衍射分束器用于在衍射元件遠場生成規(guī)則的高數值孔徑光圖形。 WO*WAP)n 最大衍射角(水平/豎直)：α=β=22.3° ^[\53\R~ 最大衍射角(對角線)=30.1° ?28GQyk4
"?0 G^zu 3. 設計任務 O>):^$-K%
uu/7Ie 光源參數： 7 Caap/L: — 高斯光源波長：532nm E~O>m8hF — 光束直徑(1/e2)：80um : )V0zHo&( 系統(tǒng)參數： %Ja{IWz9L — 衍射元件到屏幕距離：z=0.3m EV,NJ3V 期望輸出場： F-\8f(\ — 期望點圖形：規(guī)則圖形，5×5的點陣 z^HlDwsbm — 級次間距：49.2mm !J?=nSu — 目標圖案依據示例文件 Q c< O; # “Sc386_TargetPattern_1.ca2” jxOVH+?l% DOE參數： ?} Ptb&Vk( — 僅改變位相的衍射光學元件 8JO\%DFJ — 離散DOE的位相階數：4 vc1G mB A)a+LW'=u 4. 點圖形的變形 S@2Jj>3D?
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