光學(xué)自由曲面的超
精密加工技術(shù)及應(yīng)用,需要的
下載。
t&(\A,ch% t[bZg9; 摘要:光學(xué)自由曲面是指非對稱性、不規(guī)則、不適合用統(tǒng)一的光學(xué)方程式來描述的光學(xué)曲面。自由曲面
光學(xué)元件在
光電產(chǎn)品及光通訊產(chǎn)品中的應(yīng)用日益廣泛。采用多軸超精密金剛石
機(jī)床加工光學(xué)自由曲面,可達(dá)到亞微米級形狀
精度和
納米級表面粗糙的高精度水平。文章介紹了光學(xué)自由曲面的超精密加工技術(shù)及其在光電產(chǎn)品領(lǐng)域的應(yīng)用,并開發(fā)適合幾種典型光學(xué)自由曲面超精密加工的
刀具軌跡自動生成
軟件。
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