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    [分享]大口徑高精度斐索干涉儀球面參考鏡設(shè)計(jì) [復(fù)制鏈接]

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    離線寒夜
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2016-03-13
    關(guān)鍵詞： 口徑精度干涉儀
    大口徑高精度斐索干涉儀球面參考鏡設(shè)計(jì).PDF，需要的下載！ ~dEo^vJD  
    h6?^rS8U  
    摘要：設(shè)計(jì)了一款口徑為30.48cm高精度斐索激光干涉儀參考鏡， 其犉數(shù)為0.82， 參考面半徑為224.99mm。所設(shè)計(jì)的參考鏡其透射波前峰谷值為0.095λ， 均方根值為0.028λ， 透射波前斜率最大值為11μrad 。理論分析了參考鏡的回程誤差對(duì)面形檢測(cè)精度的影響， 其最大值為0.29nm。 利用Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)軟件對(duì)參考鏡進(jìn)行了仿真分析， 仿真與實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明， 該標(biāo)準(zhǔn)鏡頭可滿足精度1nm的元件面形檢測(cè)需求。
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    cyqdesign 光幣 +10 - 2016-03-13
     
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2016-03-13
    謝謝提供，下來學(xué)習(xí)一下。
    離線superyu2009
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2016-03-14
    謝謝樓主 學(xué)習(xí)一下
    離線zhao6116713
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2016-03-14
    看看，學(xué)習(xí)一下
    離線礪劍158
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2016-03-14
    看下，學(xué)習(xí)下 ._x"b5C  
    離線hytc42
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2016-03-14
    謝謝， J^` pE^S  
    參考下
    離線a578981085
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2016-03-14
    學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)
    離線jsmcu
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2016-03-14
    仔細(xì)看看先
    離線measure123
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2016-03-14
    學(xué)習(xí)學(xué)習(xí),謝謝分享
    離線ds1234567
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2016-03-14
    謝謝， awB1ryrOF  參考下