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    [原創(chuàng)]高平行度光學(xué)元件表面面形測量方法 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2015-12-22
    對于高平行度透/反射類元件,在布儒斯特角或者正入射情況下檢測時會出現(xiàn)因?yàn)楹蟊砻娑啻畏瓷涠a(chǎn)生的自干涉條紋問題,形成多組自干涉條紋,測試干涉條紋和自干涉條紋相互疊加。在測試的干涉條紋中帶有很明顯的自干涉條紋,造成最終的檢測波面出現(xiàn)數(shù)據(jù)的丟失,會嚴(yán)重影響到面形的計(jì)算。 3"y,Ut KGa  
    Bi$nYV)-l  
    為了防止檢測時候自干涉條紋的產(chǎn)生,一般都在加工時候使光學(xué)元件前后兩個面的楔角大于1′,這樣就能防止后表面的多次反射產(chǎn)生的影響,但是對于一些特殊要求的光學(xué)元件,平行度要求都比較高(優(yōu)于20″或更。,這就要求通過合適的檢測方法來解決自干涉條紋的問題。 wwD?i.3  
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    對于反射類的高平行度光學(xué)元件,檢測的時候可以在后表面涂凡士林,可以防止自干涉條紋的影響,但是對于透射/反射類鍍膜元件,后表面涂凡士林會對表面的質(zhì)量造成污損,所以無法采用這種方法進(jìn)行檢測。 ;@l5kdZx`  
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