摘要：用部分補償法檢測非球而時部分補償透鏡的優(yōu)化設(shè)計是關(guān)鍵技術(shù)之一，針對這一難點提出了一種以剩余波前斜率作為優(yōu)化目標的基于Zemax的部分補償透鏡設(shè)計方法分析了剩余波前斜率與干涉條紋密度以及彌散圓之間的關(guān)系得到了彌散圓可以定量表征剩余波前斜率的結(jié)論并將彌散圓半徑作為優(yōu)化函數(shù)針對3種不同參數(shù)的非球面進行了部分補償透鏡的優(yōu)化設(shè)計設(shè)計結(jié)果表明該方法可在保證干涉條紋可探測的前提下簡單、快速、全面直觀地實現(xiàn)部分補償透鏡的優(yōu)化設(shè)計減小剩余波前斜率降低干涉條紋密度從而擴大干涉儀可測非球面面形誤差的測量范圍提高可測的空間頻率。
