藍(lán)紫光氮化鎵光子晶體面射型激光器.pdf，有興趣的可以下載。 B5A/Iv)2
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摘要：設(shè)計(jì)、制作了藍(lán)紫光氮化鎵光子晶體面射型激光器結(jié)構(gòu)，并測(cè)量其光學(xué)性質(zhì)，探討了光子晶體的晶格常數(shù)、邊界形狀及晶格種類對(duì)激光器特性的影響。激光器結(jié)構(gòu)采用有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法配合電子束光刻及感應(yīng)耦合等離子體干蝕刻等技術(shù)制作。由角度解析光致發(fā)光系統(tǒng)測(cè)得繞射圖案、激光發(fā)射光譜及發(fā)散角等光學(xué)性質(zhì)。同時(shí)，使用平面波展開(kāi)法及多重散射法計(jì)算光子晶體的能帶結(jié)構(gòu)與閾值增益。由實(shí)驗(yàn)結(jié)果得出，可由改變光子晶體的晶格常數(shù)達(dá)到調(diào)變激光器操作模態(tài)的目的。此外，光子晶體的邊界形狀對(duì)激光器波長(zhǎng)及半高寬并無(wú)顯著的影響，但圓形邊界的閾值激發(fā)能量密度比六角形邊界低 0.3mj/cm2。另一方面，將六角晶格、四角晶格與蜂巢晶格的晶格種類進(jìn)行比較，蜂巢晶格具有較小的激發(fā)能量密度（1.6mj/cm2）及發(fā)散角（1.3°），而四角晶格的激發(fā)能量密度（3.8mj/cm2）及發(fā)散角（2.2°）為三者之中最大。多重散射法求得的閾值增益與實(shí)驗(yàn)結(jié)果相吻合，可視為快速有效設(shè)計(jì)光子晶體激光器結(jié)構(gòu)的工具。本文研究成果對(duì)今后發(fā)展高功率藍(lán)紫光氮化鎵光子晶體面射型激光器具有指導(dǎo)意義。
