XUV光譜儀

XUV光譜儀是新型的像差校正平場(chǎng)入射X射線光譜儀，光譜范圍可涵蓋1-80nm.模塊化設(shè)計(jì)，可以滿足不同的實(shí)驗(yàn)條件和環(huán)境。
單光柵（標(biāo)準(zhǔn)配置）可覆蓋5-80nm測(cè)量范圍