XUV光譜儀

XUV光譜儀是新型的像差校正平場(chǎng)入射X射線光譜儀，光譜范圍可涵蓋1-80nm.模塊化設(shè)計(jì)，可以滿足不同的實(shí)驗(yàn)條件和環(huán)境。 t(|\3$z  
    單光柵（標(biāo)準(zhǔn)配置）可覆蓋5-80nm測(cè)量范圍 9cu0$P`}5  
技術(shù)參數(shù)

S"Dw8_y7}   波長(zhǎng)范圍	?{"_9g9   5-20	P2S$Dk_<\X   10-60	JZ5NQ)sX   25-80
dX0"h5v1   光源距離（m）	#O<2wMb2<	zd+_ BPT   0.4-0.6	B!=JRfT   0.5-1.5
"]dNN{Wka   平場(chǎng)尺寸（mm）	tnbtfG;z#   25.4	"`Q.z~   50	<MlRy%3Z   50
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