XUV光譜儀

XUV光譜儀是新型的像差校正平場(chǎng)入射X射線光譜儀，光譜范圍可涵蓋1-80nm.模塊化設(shè)計(jì)，可以滿足不同的實(shí)驗(yàn)條件和環(huán)境。 Fs|fo-+H}k  
單光柵（標(biāo)準(zhǔn)配置）可覆蓋5-80nm測(cè)量范圍 oR[,?qu@f  
技術(shù)參數(shù) GLcf'$l  
#@;RJJZg  

{[jcT>.3j   波長(zhǎng)范圍	2rB$&>}T   5-20	Cj _Q9/   10-60	54JZEc   25-80
oA(jtX[(   光源距離（m）	dFjB & #Tl	AZ(["kh[   0.4-0.6	x4CrWm   0.5-1.5
e=o<yf9>Q   平場(chǎng)尺寸（mm）	6|V713\   25.4	z[M LMf[c   50	U-QK    50
_'ltz!~   色散(nm/mm)	8v8?D8\=|   0.5-0.7	:2^%^3+V   0.7-1.1	~=lm91W    0.9-1.3
#|v\UJ:Pf/   光譜分辨率（nm）	@N7X(@O   0.06	X-|`|>3E   0.09	R56:}<Y,   0.11
	Ett%Y*D+J   0.02（CCD探測(cè)器）
T6=c9f?7   升級(jí)波長(zhǎng)范圍	p(8 H[L4Y   可拓展至1-5nm(搭配該范圍光柵)
f>s3Q\+   探測(cè)器選擇	$ii/Q:w T"   X-Ray 相機(jī)，MCP探測(cè)器，fiber taper系統(tǒng)
Fx0E4\-   光柵臺(tái)	8 9v9BWF   電控
Y#V`i K   工作環(huán)境	>2x[ub%$L   <10-6mbar
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