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wyasia
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樓主
發(fā)表于: 2014-06-14
面形
精度
:
光學
表面幾何形狀的準確程度
.<8kDyim
面形偏差:是
光學零件
的被檢測光學表面與參考表面的偏差.
Z3Le?cMt^
參考表面可以是樣板,也可以是
干涉
參考表面,或者其他有足夠精度的測量裝置。
A i`
光學零件的面形精度可以通過垂直位置觀察到的干涉條紋的數(shù)量、形狀、顏色及其變化來確定。
bbevy!m
國家
標準
面形偏差包括三項,標注為N ,△1N, △2N
!Oj]. WQ
{%!.aQ,
光學樣板檢驗
原理
:
J{Fu