面形
精度:
光學(xué)表面幾何形狀的準(zhǔn)確程度
M/GQQG; 面形偏差:是
光學(xué)零件的被檢測(cè)光學(xué)表面與參考表面的偏差.
(p<QRb:&Z 參考表面可以是樣板,也可以是
干涉參考表面,或者其他有足夠精度的測(cè)量裝置。
l1^/Q~u 光學(xué)零件的面形精度可以通過(guò)垂直位置觀察到的干涉條紋的數(shù)量、形狀、顏色及其變化來(lái)確定。
iq$edq[ 國(guó)家
標(biāo)準(zhǔn)面形偏差包括三項(xiàng),標(biāo)注為N ,△1N, △2N
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