ENERGETIQ 激光驅(qū)動(dòng)寬帶光源
ENERGETIQ 激光驅(qū)動(dòng)寬帶光源 Energetiq光源是一款高亮度,高穩(wěn)定寬譜光源,采用自主研發(fā)的光源技術(shù)——LDLS™激光驅(qū)動(dòng)光源技術(shù),使用連續(xù)激光直接加熱氙離子至需要的溫度,以產(chǎn)生高效的寬頻譜光。具有高可靠性,高性能,高亮度,長壽命等特點(diǎn)。其產(chǎn)品具有很寬的光譜范圍,譜線包括軟X 射線(SXR),遠(yuǎn)紫外線(EUV), 深紫外線(DUV), 并覆蓋從可見光到紅外光區(qū)(IR),波長范圍從 170nm到2100nm 以上。無電極的 LDLS 技術(shù)可以產(chǎn)生少量,高亮度的等離子體,以獲取高效的光源,并且延長了燈的使用壽命。 |