4D動(dòng)態(tài)干涉儀
原理 >%n6n! " 4D動(dòng)態(tài)干涉儀采用偏振光干涉原理，將傳統(tǒng)相移干涉儀的時(shí)間域相移轉(zhuǎn)換為空間域相移，并采用其獨(dú)創(chuàng)的相位相關(guān)的
CCD技術(shù)，使得一個(gè)CCD幀頻內(nèi)就可實(shí)現(xiàn)全分辨的測(cè)量。其原理圖如下圖所示：
l <Z7bo 
YG*}F|1 光源發(fā)出的
激光經(jīng)過(guò)PBS后分成偏振態(tài)不同的兩束光, 其中S偏振光射向樣品表面, P偏振光射向參考鏡. 樣品光和參考光被各自表面反射重新相會(huì)后, 由于偏振方向不同并不能發(fā)生干涉. 這樣合在一起的光經(jīng)過(guò)
光學(xué)系統(tǒng)成像, 透過(guò)一塊掩模板（見(jiàn)下圖）進(jìn)入CCD.
73{<;z}i 
W3^^a D- e ^`La*n 掩模板（定向微偏振片陣列）的單元
結(jié)構(gòu)與CCD的像元一一對(duì)應(yīng)相關(guān). 上述合在一起的不同偏振態(tài)的光透過(guò)掩模板的每個(gè)單元后會(huì)發(fā)生干涉, 并且在不同像元位置發(fā)生干涉的相位是不同的. 這樣, 任意一組相鄰的4個(gè)像元都發(fā)生了具有固定相位差的干涉. 對(duì)每一組像元進(jìn)行相移干涉計(jì)算, 就可以獲得整個(gè)樣品表面的形貌數(shù)據(jù).由于像元的位相是周期變化的，則在計(jì)算時(shí)可以重復(fù)利用相鄰像元，從而實(shí)現(xiàn)全分辨的測(cè)量。
(l(d0 g&p> • 4D 動(dòng)態(tài)干涉儀的優(yōu)點(diǎn)及其應(yīng)用：
Pi,86? 1.適合于惡劣環(huán)境下的測(cè)量
_. EM])b • 快速測(cè)量 – 測(cè)量速度只受曝光時(shí)間限制，而不受CCD幀頻限制!
L&]{GNw • 對(duì)振動(dòng)不敏感
}/IP\1bG • 減少了氣流的影響－可以使用風(fēng)扇均化光路氣流
nf:wJ-;* 2.適合于挑戰(zhàn)性的測(cè)試設(shè)置
j<9^BNl • 大尺寸光學(xué)元件與系統(tǒng)
d?cCSf • 長(zhǎng)光程測(cè)量－不需防振臺(tái)，對(duì)光強(qiáng)要求降低
*xKy^f • 真空與環(huán)境倉(cāng)內(nèi)的測(cè)試
N
f} ZG 3.適合于高難度測(cè)試
vAOThj ) • 運(yùn)動(dòng)和共振檢測(cè)
c{x:'@%/s' • ESPI
電子散斑
GW 7+# • 生產(chǎn)環(huán)境下檢測(cè)
"{~^EQq, • 超快過(guò)程的檢測(cè)
