4D動態(tài)干涉儀
原理 Jz(wXp
4D動態(tài)干涉儀采用偏振光干涉原理，將傳統(tǒng)相移干涉儀的時間域相移轉(zhuǎn)換為空間域相移，并采用其獨創(chuàng)的相位相關(guān)的
CCD技術(shù)，使得一個CCD幀頻內(nèi)就可實現(xiàn)全分辨的測量。其原理圖如下圖所示：
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- L%tiz`_ 光源發(fā)出的
激光經(jīng)過PBS后分成偏振態(tài)不同的兩束光, 其中S偏振光射向樣品表面, P偏振光射向參考鏡. 樣品光和參考光被各自表面反射重新相會后, 由于偏振方向不同并不能發(fā)生干涉. 這樣合在一起的光經(jīng)過
光學(xué)系統(tǒng)成像, 透過一塊掩模板（見下圖）進入CCD.
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