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    [分享]光刻機照明系統(tǒng)設計 [復制鏈接]

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    離線hhxxgg00
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2013-04-02
    隨著微電子產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，我國迫切需要研制極大規(guī)模集成電路的加工設備-光刻機。曝光波長為 193nm 的投影式光刻機因其技術成熟、曝光線寬可延伸至 32nm 節(jié)點的優(yōu)勢已成為目前光刻領域的主流設備。照明系統(tǒng)是光刻機的重要組成部分，其主要作用是提供高均勻性照明、控制曝光劑量和實現(xiàn)離軸照明，以提高光刻分辨率和增大焦深。論文以深紫外光刻照明系統(tǒng)光學設計為研究方向，對照明系統(tǒng)關鍵單元進行了光學設計與仿真研究。 A6N~UV*_  
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    長光機博士論文 Hs%QEvZl  
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    這個時代，每個人都在大聲說話，每個人都在爭分奪秒。我們用最快的速度站上高度。但是也在瞬間失去態(tài)度。當喇叭聲遮蓋了引擎聲，我們早已忘記，謙謙之道才是君子之道。你問我這個時代需要什么，在別人喧囂的時候安靜，在眾人安靜的時候發(fā)聲。不喧嘩，自有聲。
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    離線xingyu4153
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    長光機博士論文
    離線drymatini
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    好資料！
    離線moth
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    看看看················
    離線姜守望
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    頂一下，……
    離線yu-xuegang
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    頂一下，……
    離線tmdapple123
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    光幾所！哎
    離線maiwudi
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    看看啦
    離線ciomp1312
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2013-04-04
    長光機博士論文
    離線光學行當
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2013-04-04
    看一看