大多數(shù)的
光學(xué)實(shí)驗(yàn)室,對(duì)采用平行光管的透射式定心工具比較熟悉,但這種方法有很大的局限性。首先,這種測(cè)量不適用于非球面、柱面和拋物面的
鏡頭。然而動(dòng)態(tài)
激光反射系統(tǒng)可以應(yīng)用于任何光學(xué)表面。其次,基于平行光管的對(duì)準(zhǔn)儀需要隨測(cè)量對(duì)象的變換經(jīng)常改變物鏡,使得測(cè)量成本非常高昂。標(biāo)準(zhǔn)的平行光管使用低強(qiáng)度的白光
光源,在大部分增透膜表面的反射率很低,特別是V 型鍍膜。激光反射系統(tǒng)則不存在此類問題。在此簡(jiǎn)單得介紹下激光反射式定心方式。
i,4>0o? 激光反射式定心與裝配工作臺(tái)(定心儀),用于精密與超精密鏡頭組的裝配,以提高裝配和檢測(cè)精度。定心儀可以將多元件系統(tǒng)的裝配、測(cè)量、檢測(cè)等過程緊密地聯(lián)系在一起。在裝配過程中,操作者可以獲得光學(xué)對(duì)準(zhǔn)信息的反饋,用標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)測(cè)量模塊可以測(cè)到的最小傾斜值達(dá)到2弧秒,中心定位的精度可以達(dá)到小于0.5微米。
*P2S6z2 m~d]a$KQ5- 工作原理
EbE-}>7OO 定心儀的結(jié)構(gòu)大致分成兩部分,光學(xué)模塊和回轉(zhuǎn)樣品臺(tái)。
B1C-J/J 光學(xué)模塊包括光源和探測(cè)器。采用激光作探測(cè)源,
激光器的
波長(zhǎng)可以根據(jù)被測(cè)對(duì)象,選擇可見或紅外光。激光通過固定
焦距的鏡頭,入射到被測(cè)鏡頭的上表面或下表面,由鏡頭表面反射回來的光聚焦在探測(cè)器,形成測(cè)量反饋光斑。
%)I{%~u0 回轉(zhuǎn)樣品臺(tái)的基座是一個(gè)空氣軸承轉(zhuǎn)臺(tái),具有可調(diào)傾斜的自對(duì)心夾具,可以調(diào)整被測(cè)的
透鏡,使其外殼機(jī)械軸與測(cè)量光束共軸。
QY?~ZwYB 光學(xué)模塊發(fā)出一束聚焦的激光光束,這束光束與空氣軸承的旋轉(zhuǎn)軸是精確對(duì)心的。
Ix=}+K/ 光學(xué)模塊發(fā)出了一束聚焦的光束由測(cè)量樣品表面反射后,
成像在CCD靶面上。如果被測(cè)表面恰好在中心,反射的光束在觀察界面產(chǎn)生一個(gè)在中心固定不改變位置的光斑。若測(cè)量的表面不在理想的中心,反射光束的光軸會(huì)和理想的中心軸線間產(chǎn)生一個(gè)夾角,在觀察界面上的反射光斑就會(huì)偏離中心位置。 旋轉(zhuǎn)空氣軸承,這個(gè)偏心的光斑就會(huì)圍繞著CCD的中心旋轉(zhuǎn)。在觀察界面看到的反射光斑軌道半徑,與樣品的傾斜程度成比例,而與它的曲率半徑?jīng)]有關(guān)系。
m(#LhlX H'HA+q q):5JXql~ 聚焦光束將從被測(cè)鏡面反射回CCD后完成測(cè)量。由于激光光束是聚焦的,反射光束可以任意選擇共焦光束或普通光束。圖1和圖2是普通光束和共焦光束反射的示意圖。通過利用任意一種反射光束,定心儀可以測(cè)量的鏡片的曲率范圍可以從±2mm到無窮大。
[^e%@TV>d kep/+J-u 在CCD接收到反射光束行成的圓形路徑之后,通過
軟件進(jìn)行測(cè)量這一圓形的直徑,并進(jìn)行中心位置的測(cè)量和計(jì)算,然后將數(shù)據(jù)反饋給操作者。
/qGf 1MHD =mpVYA =U|.^5sa# 通過圖像采集卡將圖像輸入到計(jì)算機(jī),通過軟件可以對(duì)各個(gè)透鏡和整個(gè)系統(tǒng)的鏡頭組裝自動(dòng)完成測(cè)量,并計(jì)算后將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)。
78# v 定心儀系統(tǒng)可以通過空氣軸承的旋轉(zhuǎn)來測(cè)量一組鏡子的光軸的偏差。在空氣軸承安裝了可以調(diào)心和傾斜俯仰的裝置,用來幫助將空氣軸承的旋轉(zhuǎn)軸與鏡頭的機(jī)械軸對(duì)準(zhǔn)。一旦將鏡頭外殼對(duì)準(zhǔn),便只需要將各個(gè)鏡片放置在外殼中,然后用定心儀進(jìn)行各個(gè)透鏡的定心。
$79=lEn, z'\_jaj^ E!l!OtFL 一般操作過程如下:
Tewb?: 1.借助于機(jī)械或電子量?jī)x(如千分表、杠桿表等),將透鏡筒對(duì)準(zhǔn)調(diào)好。這個(gè)過程是建立一個(gè)機(jī)械的參考,使鏡筒的機(jī)械軸與空氣軸承的旋轉(zhuǎn)軸重合。
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