非球面透鏡的面性檢測,現(xiàn)在用的比較多的是加零鏡,但是制造零鏡要求過高。而且很多都是非球面。
v,N!cp1 s2QgR37s> 下面介紹的方法是將面型的檢測轉(zhuǎn)化為對波前誤差的檢測,這樣就比較簡單了;
tRc3<> ak3WER|f# 在非球面檢測中長借助于632.8nm波長的干涉儀進行檢測。我們設(shè)計非球面透鏡大多不是以這個
波長設(shè)計的,而且即使是在這個波長設(shè)計的,單個非球面
成像的波相差也不一定就好(很多是
系統(tǒng)中的一部分),這樣的話我們需要想辦法讓這個非球面在632.8nm波長下的波前誤差很好。這樣我們只要檢測透過鏡子的波前誤差來檢測非球面的好壞;有兩種方法: