三種激光檢測(cè)技術(shù)簡(jiǎn)介 [復(fù)制鏈接]

一.激光干涉 h+ud[atk.  
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1.原理 l0C`teO  
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  高頻的激光脈沖輸入下，依靠入射激光和反射激光的相位差來(lái)測(cè)量工件的瞬間位移變化，瞬間位移變化量的疊加可以描述工件輪廓的狀況。照射到工件表面光斑直徑保持為200微米左右，足夠大的參考光斑可以給干涉儀提供穩(wěn)定的參考信號(hào)。 axpZ`BUc  
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2.國(guó)內(nèi)外研究 j+@3.^vK
 
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國(guó)內(nèi)：四川大學(xué)激光應(yīng)用技術(shù)研究所, 周肇飛教授領(lǐng)導(dǎo)的課題組 。 )U
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國(guó)外：美國(guó)的ZYGO ,WYKO 型的光干涉式輪廓儀, 英國(guó)NPL 的雙焦物鏡輪廓儀 。 T7%!JBg
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3.干涉技術(shù)展望 ^GyZycch  
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用于在線檢測(cè)的高分辨干涉測(cè)量設(shè)備由于要適應(yīng)直接放在精密機(jī)床上工作的較嚴(yán)酷條件, 又要調(diào)整快捷, 在靈敏度方面作了一定犧牲。不過, Ra 優(yōu)于0. 2nm 的分辨力對(duì)于超精密加工在線檢測(cè)已完全滿足要求并有一定儲(chǔ)備。如果確有更高的要求, 該領(lǐng)域尚有進(jìn)一步提高靈敏度的潛力, 基于同樣原理的實(shí)驗(yàn)室用輪廓儀已經(jīng)做到分辨力優(yōu)于0. 02nm。 vd)zvI  
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4.一些干涉技術(shù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果 Z"RgqNf  
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                  噪聲當(dāng)量 Ra＝0.08nm =J4|"z:  
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                重復(fù)性測(cè)試 2σ＝0.5nm ] |nW