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hankerbb
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樓主
發(fā)表于: 2006-06-19
— 本帖被 cyqdesign 從 光電技術(shù) 移動(dòng)到本區(qū)(2007-06-26) —
一.激光干涉
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1.原理
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高頻的激光脈沖輸入下,依靠入射激光和反射激光的相位差來測量工件的瞬間位移變化,瞬間位移變化量的疊加可以描述工件輪廓的狀況。照射到工件表面光斑直徑保持為200微米左右,足夠大的參考光斑可以給干涉儀提供穩(wěn)定的參考信號(hào)。
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2.國內(nèi)外研究
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