基于EMAX的Fizeau干涉儀模型 楊 鵬1, 2，伍 凡1，侯 溪1，吳高峰1( 1. 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所，成都 610209；2. 中國科學(xué)院研究生院，北京 100039 ) oy#Qj3M8=
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摘要：Fizeau 干涉儀由于具有參考光與測試光共光程的優(yōu)點(diǎn)成為多數(shù)干涉儀采用的結(jié)構(gòu)形式，對于干涉儀的結(jié)構(gòu)及其影響因素在理論上已進(jìn)行了較廣泛的研究。但如何對Fizeau 干涉儀進(jìn)行仿真是干涉儀檢測所面臨的問題。本文首先簡要介紹Fizeau 干涉儀及相位解包裹的基本原理并利用Matlab 編寫了基于矩形域的解包裹程序。然后利用Zemax 光學(xué)設(shè)計(jì)軟件建立起Fizeau 干涉儀通用模型，利用四步相移法對干涉儀的面形檢測進(jìn)行仿真并利用編寫的解包裹程序計(jì)算出待測面的面形。仿真面形檢測結(jié)果與真實(shí)情況一致表明Fizeau 干涉儀通用模型能較好的對實(shí)際干涉儀面形檢測進(jìn)行仿真。
