[分享]150mm菲索干涉儀球面標(biāo)準(zhǔn)具結(jié)構(gòu)分析與設(shè)計 [復(fù)制鏈接]

菲索干涉儀器球面標(biāo)準(zhǔn)鏡參考文獻，很不錯的說。 !nBm}E7d  
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摘 要：在高精度的光學(xué)元件面形檢測中,為了保證檢測的精度,必須對高精度菲索干涉儀的標(biāo)準(zhǔn)鏡的自重和溫度變形進行嚴(yán)格地控制。針對高精度菲索干涉儀標(biāo)準(zhǔn)鏡的精度要求, 設(shè)計了一種新的標(biāo)準(zhǔn)鏡裝卡結(jié)構(gòu)。采用有限元方法分析了標(biāo)準(zhǔn)鏡在膠接方式下的表面變形情況,參考面表面變形峰谷( PV)值僅為9. 6nm , 均方根( RMS) 值為2. 1nm。同時對不同環(huán)境溫度下參考面的變形進行了計算得出面形的峰谷值和均方根值。最后介紹球面標(biāo)準(zhǔn)具的裝配過程。