1.球差 +NZ_D#u
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光學(xué)系統(tǒng)僅有球差時(shí)，根據(jù)球差的性質(zhì)可知，出射波面是一個(gè)非球面的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱面，因此星點(diǎn)像的衍射環(huán)還是圓的，但光強(qiáng)分布規(guī)律與理想情況不同，表現(xiàn)為光能由中央亮斑向各衍射環(huán)分散，結(jié)果中央亮斑變暗，各亮環(huán)變亮，且暗環(huán)的光強(qiáng)也不再為零。但最明顯的特征是焦前焦后對(duì)稱面上的衍射圖樣不再相同。 Eex~xiiV
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2.慧差 \O3m9,a
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僅有慧差時(shí)，慧差較小時(shí)，中央亮斑稍稍偏離第一衍射亮環(huán)的中心，同時(shí)該亮環(huán)的粗細(xì)和亮暗都不再一致，中央亮斑靠近的一側(cè)，環(huán)變細(xì)變暗，遠(yuǎn)離的一側(cè)則變粗變亮。慧差增加，中央亮斑偏心加大，第一亮環(huán)的亮暗差也加大以至斷開。波像差大于0.5λ后,星點(diǎn)像開始呈現(xiàn)出彗星狀,即有一個(gè)明亮的頭部和一條漸漸擴(kuò)展、變暗的尾巴。 eCU:Q
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如果被檢系統(tǒng)的軸上點(diǎn)也出現(xiàn)慧差，說(shuō)明系統(tǒng)存在工藝疵病，主要是單片透鏡中心偏差、膠合透鏡偏心差和裝配時(shí)某些鏡片的偏心等疵病。但是偏心量都比較小，否則不僅出現(xiàn)慧差，還會(huì)出現(xiàn)像散。 S"bg9o
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用檢查軸上點(diǎn)星點(diǎn)像有無(wú)慧差來(lái)判斷光學(xué)系統(tǒng)在裝配和其他工藝過(guò)程中是否引進(jìn)了偏心差，是一個(gè)很好的辦法。它有很高的靈敏度，當(dāng)偏心差產(chǎn)生的波像差為λ／20或更小時(shí)，人們就能檢測(cè)出來(lái)。但星點(diǎn)檢驗(yàn)用于測(cè)定像差大小時(shí)就十分不利。 a
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3.像散 u^ +7hkk
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僅有像散的星點(diǎn)圖的特征是：焦前、焦后都呈現(xiàn)橢圓形星點(diǎn)圖，但其長(zhǎng)軸互相垂直。像散很小時(shí)，中央亮斑還是圓形的，在子午和弧失焦線處，第一暗環(huán)皆成長(zhǎng)方形，但彼此垂直；在兩焦線間總能找到第一暗環(huán)成正方形的像面位置；這是有像散時(shí)的焦面位置。 EPI4 !3]
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造成光學(xué)系統(tǒng)出現(xiàn)軸上像散的主要原因有兩個(gè)，一是光學(xué)面有較大的偏心，二是光學(xué)面變形。如果星點(diǎn)像的主要特征表現(xiàn)為像散，慧差并不明顯，這時(shí)的像散往往主要由光學(xué)面變形產(chǎn)生。如果像散和慧差都明顯，則主要是光學(xué)面有較大偏心造成。因?yàn)樾×科臅r(shí)首先在星點(diǎn)圖中出現(xiàn)慧差，偏心加大，慧差增加，像散更快地增加，致使兩種像差在星點(diǎn)像中都明顯呈現(xiàn)。 h,u, ^ r
4x物鏡到100X物鏡都可以清晰分析 成像！ i/;\7n
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對(duì)成像采集要求抗逆光，感光有一定動(dòng)態(tài)。
