光學(xué)元件及鏡頭表面細(xì)節(jié)和MTF測試的完美測試儀器 S-H波前相差測試系統(tǒng)

干涉儀和MTF測試是傳統(tǒng)的透鏡或鏡頭的測試方法。干涉儀對得到表面的細(xì)節(jié)信息非常有用，但是相對較貴且不易應(yīng)用到生產(chǎn)線上。尤其，干涉儀不能對離軸光學(xué)測試，且只能工作在某一固定波長而無法對色差進(jìn)行測試。MTF測試可以用于離軸測量，得到的測試信息主要是GO/NO GO信息，而且，由于采用了較多地移動部件進(jìn)行掃描測試來尋找焦點(diǎn)，維護(hù)保養(yǎng)也是個問題。 5#s],h  
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理想的測試系統(tǒng)應(yīng)該是既可以得到干涉儀提供的詳細(xì)測試信息（澤尼克系數(shù)、點(diǎn)陣圖、點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)、MTF）,并且系統(tǒng)應(yīng)該堅(jiān)固耐用（測試結(jié)果不受震動和氣流影響），又可以兼顧離軸和近軸測試，還可以靈活的進(jìn)行配置以完成不同類型透鏡的測試任務(wù)。此外還可以對色差進(jìn)行測試,；能夠適應(yīng)不同環(huán)境、不同光學(xué)元件的測試需求；沒有移動部件以適應(yīng)生產(chǎn)環(huán)境的測試需要；系統(tǒng)緊湊、測試速度快；可以用于在線調(diào)試優(yōu)化透鏡系統(tǒng)。SpotOptics 的波前測試系統(tǒng)就是這樣的一個系統(tǒng) NHe)$%a=H  
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基于該原理的測試儀器的主要優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)緊湊、適應(yīng)性強(qiáng) （受震動和氣流影響很小）， 可以用于生產(chǎn)環(huán)境。還可以采用閉環(huán)控制進(jìn)行測試分析用于復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)的裝配、調(diào)校、優(yōu)化、對準(zhǔn)等。 <&g