飛秒
激光開始應用到微納加工領域始于20世紀90年代初。正是由于飛秒激光具有持續(xù)時間短及高脈沖功率密度的特性，使得其與物質(zhì)相互作用時具有許多獨特的優(yōu)點：確定的燒蝕閾值，規(guī)則的加工邊緣，層層微加工以及可加工任何材料等。最近研究結(jié)果表明：飛秒激光微細加工在微
光學、微電子、微機械、微生物、微醫(yī)學等多個領域具有潛在的應用價值。不同學科、不同實驗具有不同的具體要求，這就需要采取相應的加工手段來實現(xiàn)特定加工目的，囚此飛秒激光深孔加工技術等加工工藝開始引起越來越多研究者的重視。
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-K Q 激光整形技術是指在激光腔內(nèi)或腔外采用光學元件改變光束形態(tài)實現(xiàn)光束整形。飛秒激光脈沖整形有別于傳統(tǒng)整形概念，主要是在保留原有高峰值功率特性基礎上，在光路中引人擴束器、濾波器以及衍射模板等光學器件，達到縮小聚焦尺寸、去除高斯光束周圍熒光成分、減少脈沖形變及多種形狀加工等目的。常用的是空間濾波和掩�？刂萍夹g。空間濾波是實現(xiàn)對光束邊緣熒光的屏蔽效用，實現(xiàn)聚集點光學質(zhì)量的改善，掩�？刂剖峭ㄟ^掩模形狀來實現(xiàn)對脈沖的調(diào)制，以達到確定的加工目的。
C1>zwU_z o Q5lt[2Zyzd 本文采用聚焦
物鏡與接收材料同步運動的方法，可以很容易地將焦點前后脈沖的空間形態(tài)在材料表面以二維平面圖形式表示出來。在聚焦物鏡前加小孔掩模板，通過小孔直徑及小孔前后脈沖能量的變化，可直觀觀察到光束空間形態(tài)的改變。最后，實驗選取合適參數(shù)，成功刻劃出邊緣光滑的透射型金屬
光柵。
q@g#DP+C /DjsnU~3 1 實驗裝置及方法
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