[原創(chuàng)]基于X-Ray LIGA工藝的三維針狀結構的多種制造方法 [復制鏈接]

MEMS的課程論文，寫得比較認真，希望對大家有用^_^  傳上來掙點分…… 6G7+&g`  
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本文主要對具有代表性的三維結構——針形陣列的多種制造工藝作出介紹。包括： _o? I=UN2:  
1、移動掩模深X射線光刻（Moving mask deep X-ray lithography,M2DXL）技術 fLZ mQO  
2、改變X射線入射方向的二次曝光方法 xM=?ES  
3、水平型正交橫截面技術（Plane-pattern to cross section transfer，PCT） ,0f^>3&n>e  
4、X射線灰色掩模技術 sGG q~7  
并對最新的制造方法：X射線灰色掩模（X-ray gray mask）光刻技術做詳細介紹。

真是太好了 正是我想要的

感謝囉~學習研究一下~