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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2008-05-22
    本研究提出以矽基板非等向性蝕刻製作梯形長溝與截頂角錐等微特徵結(jié)構(gòu),利用矽晶圓[111]面蝕刻 S)W