v@;:aN 超精密加工經(jīng)過數(shù)十年的努力，日趨成熟，不論是超精密機床、金剛石工具，還是超精密加工工藝已形成了一整套完整的超精密制造技術(shù)系統(tǒng)，為推動機械制造向更高層次發(fā)展奠定了基礎(chǔ)，現(xiàn)在正在向納米級精度或毫微米精度邁進，其前景十分令人鼓舞。但是從另一個角度來分析，隨著科技的發(fā)展，對它的要求越來越高，而現(xiàn)實的情況又受到技術(shù)水平的制約，依然存在許多困難。
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/z 綜述
Z~8Xp R:B-4 超精密加工技術(shù)是一門綜合性的系統(tǒng)工程，它的發(fā)展綜合地利用了機床、工具、計量、環(huán)境技術(shù)、微電子技術(shù)、計算機技術(shù)、數(shù)控技術(shù)等的進步。日本的津和秀夫教授形象地將超精密加工比作富士山的山頂，所以在某種意義上說，已到達了精密加工的頂峰。日本的文獻上，經(jīng)常出現(xiàn)向極限靠攏的提法。雖然從技術(shù)的角度來說，有些模糊，但是很形象化。實際上，加工精度在現(xiàn)有的水平上再提高一步已是相當困難。以現(xiàn)在的產(chǎn)品而言，凡是要求高的尺寸，大部分是超越現(xiàn)有標準的，這從另一個側(cè)面反映了超精密的實際情況，相當多的要求，均以技術(shù)條件的形式來表示，或標明具體的特殊公差，而今天除了精度以外，對表面還提出了新的要求——表面完整性。日本谷口紀男教授往往將超精密加工技術(shù)與微細加工綜合在一起來加以介紹，客觀上反映了兩種技術(shù)的交叉，也體現(xiàn)了時代的特征。本文想就超精密加工發(fā)展的趨勢，說明一些個人的看法。
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