r,]#b[:.s| 超精密加工經(jīng)過(guò)數(shù)十年的努力，日趨成熟，不論是超精密機(jī)床、金剛石工具，還是超精密加工工藝已形成了一整套完整的超精密制造技術(shù)系統(tǒng)，為推動(dòng)機(jī)械制造向更高層次發(fā)展奠定了基礎(chǔ)，現(xiàn)在正在向納米級(jí)精度或毫微米精度邁進(jìn)，其前景十分令人鼓舞。但是從另一個(gè)角度來(lái)分析，隨著科技的發(fā)展，對(duì)它的要求越來(lái)越高，而現(xiàn)實(shí)的情況又受到技術(shù)水平的制約，依然存在許多困難。
( Si=m;g 綜述
^@"H 1 Pe_!?:vF 超精密加工技術(shù)是一門(mén)綜合性的系統(tǒng)工程，它的發(fā)展綜合地利用了機(jī)床、工具、計(jì)量、環(huán)境技術(shù)、微電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、數(shù)控技術(shù)等的進(jìn)步。日本的津和秀夫教授形象地將超精密加工比作富士山的山頂，所以在某種意義上說(shuō)，已到達(dá)了精密加工的頂峰。日本的文獻(xiàn)上，經(jīng)常出現(xiàn)向極限靠攏的提法。雖然從技術(shù)的角度來(lái)說(shuō)，有些模糊，但是很形象化。實(shí)際上，加工精度在現(xiàn)有的水平上再提高一步已是相當(dāng)困難。以現(xiàn)在的產(chǎn)品而言，凡是要求高的尺寸，大部分是超越現(xiàn)有標(biāo)準(zhǔn)的，這從另一個(gè)側(cè)面反映了超精密的實(shí)際情況，相當(dāng)多的要求，均以技術(shù)條件的形式來(lái)表示，或標(biāo)明具體的特殊公差，而今天除了精度以外，對(duì)表面還提出了新的要求——表面完整性。日本谷口紀(jì)男教授往往將超精密加工技術(shù)與微細(xì)加工綜合在一起來(lái)加以介紹，客觀上反映了兩種技術(shù)的交叉，也體現(xiàn)了時(shí)代的特征。本文想就超精密加工發(fā)展的趨勢(shì)，說(shuō)明一些個(gè)人的看法。
`$YP<CJeq c.|l-zAeX 超精密加工技術(shù)隨著時(shí)間的推延，精度、難度、復(fù)雜性等都在向更高層次發(fā)展，使加工技術(shù)也隨之需要不斷加以更新，來(lái)與之相適應(yīng)。
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