摘要
?'F>DN %YjZF[P 對于許多應(yīng)用來說(例如背光、
光學(xué)連接器和近眼顯示),如何將光高效地耦合到波導(dǎo)
結(jié)構(gòu)中是一個重要的問題。對于這些應(yīng)用,傾斜
光柵因?yàn)槟軌蚋咝У伛詈蠁紊舛皇熘。在此示例中,介紹了使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)對傾斜光柵進(jìn)行
優(yōu)化。對于給定的方向級次,優(yōu)化的光柵展示出超過90%的
衍射效率。此外,還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。
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fX 1級
參數(shù)優(yōu)化
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