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摘要 G%>[I6G
# ._! .P 可用于嚴(yán)格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴(yán)格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數(shù)運(yùn)行結(jié)合使用，可以在給定的參數(shù)空間上進(jìn)行掃描，以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 H`".L^
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 7_{x '#7 傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA） Fq{nc]L6
6^wiEnA 建模任務(wù) ( {8Q=Gh
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