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    [技術]光柵級次分析器 [復制鏈接]

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    光幣
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    光券
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 06-19
    摘要 DT *'r;  
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    分析特定衍射級的衍射效率是光柵結構的典型建模任務。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光波長相當，因此必須通過嚴格的方法計算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結果是復數瑞利系數，它包含每階所需的所有場信息，從中可以獲得相應的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復雜光柵結構（一維/二維周期）的所有信息。 Cq\1t  
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    光柵規(guī)格 bW03m_<M<1  
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    •為了演示光柵階數分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。 !_EL{