這是一個簡單的二維
光柵的案例，它有兩個周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個位于襯底上的菱形(平行六面體)，并被背景
材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形
結(jié)構(gòu))、
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
u^&,~n@n7 s&Qil07 Vl 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當
波長為193nm時，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強度
S偏振光照明的場矢量
{$^Lb4O[V 
P偏振光照明的場矢量 CiC@Z,ud`
}J\KnaKo 后處理傅里葉變換計算透射
衍射級次的振幅。
J|[`8 *8 Q4&<RWbT^ 參數(shù)掃描
i@`T_&6l fO$~jxR. Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它產(chǎn)生了以下圖表，顯示了反射和透射衍射級次的強度：
K9 f7,/ >rzpYc'~w 在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,在一個固定的照明角度下，其中圖案寬度從150nm增至250nm。這將產(chǎn)生以下依賴關(guān)系
iC\t@BVS Xu&4|$wB+
