這是一個簡單的二維
光柵的案例,它有兩個周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個位于襯底上的菱形(平行六面體),并被背景
材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形
結(jié)構(gòu))、
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
*~$~yM/~3U "$HbK
@]!h 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當(dāng)
波長為193nm時,平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強(qiáng)度
S偏振光照明的場矢量
gieJ}Bv P偏振光照明的場矢量 ^,Ydr~|T
.4.pJbOg 后處理傅里葉變換計算透射
衍射級次的振幅。
uZKP"Oy lt'I,Xt 參數(shù)掃描
cFd
>oDS oSb, :^Wl Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它產(chǎn)生了以下圖表,顯示了反射和透射衍射級次的強(qiáng)度:
HHk)ZfWRo Ma-\^S= 在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,在一個固定的照明角度下,其中圖案寬度從150nm增至250nm。這將產(chǎn)生以下依賴關(guān)系
_#$9 y1bd 2Nc>6