[技術]傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與容差分析 [復制鏈接]

摘要 H^no&$2`1  
[d_sd  
對于許多應用來說（例如背光、光學連接器和近眼顯示），如何將光高效地耦合到波導結(jié)構(gòu)中是一個重要的問題。對于這些應用，傾斜光柵因為能夠高效地耦合單色光而被熟知。在此示例中，介紹了使用嚴格的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進行優(yōu)化。對于給定的方向級次，優(yōu)化的光柵展示出超過90％的衍射效率。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 X519} l3  
sR1 &2hB  

圖片:1-19110G51512293.png

8>|@O<2\  
?)