[技術(shù)]傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與容差分析 [復(fù)制鏈接]

摘要 YmB z$  
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對于許多應(yīng)用來說（例如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示），如何將光高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個重要的問題。對于這些應(yīng)用，傾斜光柵因為能夠高效地耦合單色光而被熟知。在此示例中，介紹了使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對于給定的方向級次，優(yōu)化的光柵展示出超過90％的衍射效率。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 bH3-#mw5w  
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1級參數(shù)優(yōu)化 mAk)9`f/  
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結(jié)果-容差分析 'r(}7>~fC  
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VirtualLab Fusion一瞥 HB||
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VirtualLab Fusion中的工作流程 $FNj>1  
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構(gòu)建光柵結(jié)構(gòu) k9.@S  
−使用特殊材料的光柵結(jié)構(gòu)設(shè)定[用例] 9K@`n:Rw  
−傾斜光柵高級設(shè)定[用例] FU;Tv).  
•光柵衍射效率分析 P"XF|*^U  
−光柵階序分析器[用例] "n}J
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•使用參數(shù)優(yōu)化進(jìn)行光柵參數(shù)優(yōu)化 )_,*2|b  
•使用參數(shù)運(yùn)行的容差分析 F7Mf>."  
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了解一下光柵。