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摘要 m|3 Q' aW9\h_$ 高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點(diǎn)。相機(jī)探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 i|m8#*Hd
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l% K 建模任務(wù) 2 9cx( n|Ts:>`V  r+k&W 概述 '2
Y8 ) ]DqK<- •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 cg_ " }]Y1 •接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 `@ny!S|1/
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