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    [技術(shù)]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 05-14
    摘要 3,W2CN}  
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    高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時考慮光的矢量性質(zhì)是至關重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應。 }G_ i+  
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    概述 *ofK|r  
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    •案例系統(tǒng)已預先設置了高數(shù)值孔徑物鏡。 ;"wU+  
    •接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 2-. g>'W  
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    光線追跡仿真 e*:[#LJ]C  
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    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。 &> p2N  
    •單擊go！ "-90:"W  
    •獲得了3D光線追跡結(jié)果。 YLJH?=2@  
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    •然后，選擇“光線追跡”作為模擬引擎。 3q{H=6  
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    •結(jié)果得到點圖（二維光線追跡結(jié)果）。 m{I_E G  
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