摘要
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M{Sng S[5OTwa8L 掃描
干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術(shù)。 通過利用白光
光源的低相干性,僅當(dāng)光程長度差在相干長度內(nèi)時(shí)才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此,它可以實(shí)現(xiàn)精確的
顯微鏡測量。在本案例中,氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測量表面平滑變化的樣品。
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