[技術(shù)]全場光學(xué)相干掃描干涉儀 [復(fù)制鏈接]

摘要 %c)^8k;I  
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掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術(shù)。 通過利用白光光源的低相干性，僅當(dāng)光程長度差在相干長度內(nèi)時(shí)才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實(shí)現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測量表面平滑變化的樣品。 7a 4G:  
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圖片:1-191209152110491.png

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建模任務(wù) HkFoyy  
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仿真干涉條紋 !\.x7N<)0  
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走進(jìn)VirtualLab Fusion !_)*L+7f_  
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圖片:1-191209152K5539.png

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VirtualLab Fusion中的工作流程 57^X@ra$  
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•設(shè)置輸入場 fEF1&&8^  
−基本光源模型[教程視頻] @#$5_uU8\(  
•使用導(dǎo)入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 uFNVV;~RFI  
•定義元件的位置和方向 DYkNP:+  
− LPD II：位置和方向[教程視頻] k2o98bK&;  
•正確設(shè)置通道以進(jìn)行非序列追跡 <eKF  
−非序列追跡的通道設(shè)置[用例] JlJy3L8L  
•使用參數(shù)運(yùn)行檢查影響/變化 FP=%e]vJ  
−參數(shù)運(yùn)行文檔的使用[用例] {(#Dou  
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圖片:1-191209152Tb56.png

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