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摘要 &<^@/osi [V jd)% 斐索干涉儀是工業(yè)中常見(jiàn)的光學(xué)計(jì)量設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高精度測(cè)試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個(gè)菲索干涉儀,并利用它測(cè)試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。 l]v
*h0! 7 cIVK}& qs-:JmA_w B4|%E$1+ 建模任務(wù) Fx3VQ'%J [Q 2t,tQx +Qc^A {8B\-LUR 傾斜平面下的觀測(cè)條紋 acGmRP9g p-(Z[G* F~l3?3ZV y:|7.f 圓柱面下的觀測(cè)條紋 Cq(Xa- 8v]{ 5 SV\x2^Ea0 ZA9']u%EJ 球面下的觀測(cè)條紋 )uX:f8 f1~3y}7^Jq h;ShNU )Y
*?VqZn VirtualLab Fusion 視窗 9C4l@jrF l5h9Eq s*8hN*A/, VirtualLab Fusion 流程 ka>RAr J ~y|%D; MZd\.]G@
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