復(fù)雜
光柵結(jié)構(gòu)被廣泛應(yīng)用于
光譜儀、近眼顯示
系統(tǒng)等領(lǐng)域。VirtualLab Fusion
軟件用傅立葉模態(tài)法（FMM,或者RCWA）一種簡易的
仿真方法來嚴(yán)格分析任意的光柵結(jié)構(gòu)。使用圖形用戶界面，可以設(shè)置堆棧的幾何圖形，從而生成復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。 此例程主要用于構(gòu)建具有二維周期性特征的光柵。
• 光柵工具箱中構(gòu)建二維光柵的方法 − 基于介質(zhì)定義的類型 − 基于界面定義的類型
|#< z\u } • 計(jì)算之前修改高級選項(xiàng)和檢查定義的結(jié)構(gòu)的方法。
[+R_3'aK • 提示：在VirtualLab軟件中的光柵結(jié)構(gòu)中，表現(xiàn)為二維周期性的被稱作 三維光柵。同樣的，層狀光柵（一維周期性）被稱作二維光柵。
$cJ fdE Z}>F
V~4 初始化光柵工具箱
dW!El^w} • 初始化
L97 ~m a − 開始菜單欄 (Start)
D& o\q68 W 光柵菜單欄(Grating)
\#VWZ\M8a 通用光柵光路圖（三維光柵） General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
p}pd&ut1 • 提示：對于特殊類型的光柵，例如柱形光柵，
\9`
~9#P 可以在光柵工具箱中直接點(diǎn)擊柱形光柵光路
Y*\h?p[, 圖（三維光柵）(Pillar Grating Light
#Y=b7|l Path Diagram(3D Gratings))
6jgP/~hP>N "!AtS 設(shè)置光柵結(jié)構(gòu)
!u 8IZpf 9*K-d' m • 首先，需要定義基底(Base Block)的厚度和介質(zhì)。
^-- R#$X • VirtualLab中光柵結(jié)構(gòu)在堆棧(stack) 中定義。
r6 3l( • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同時(shí)添加堆棧(stack)。
TlkhI • 例如，圖中在前表面添加了堆棧(stack)。
rEC 基于
材料定義光柵的類型（例程： 柱形光柵）
:):v B 堆棧編輯器
h% W,O,K/ h^Yh~84T 在堆棧編輯器(Stack Editor)中，界面和材料可以從中目錄(catalog) 中添加。
\7*|u • 為了用一種特殊的介質(zhì)定義光柵，需要添加兩個(gè)平面界面，作為介質(zhì)的邊界。
KU
oAxA |gu@b~8 兩個(gè)平面之間的介質(zhì)類型可以是均勻介質(zhì)(homogenous)或者調(diào)制介質(zhì)(modulated)。
U/s
Z1u - • 使用調(diào)制介質(zhì)，就可以非常有效地描述復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)，如柱形光柵。
柱形光柵介質(zhì)
N '&>bO?@` YsVKd h • 在目錄類別中LightTrans預(yù)設(shè)(LightTrans Defined)下柱形介質(zhì)類(pillar media)中可以添加鉻柱(Chromium Pillars)。
Xxd D)I • 這種介質(zhì)可以仿真柱形結(jié)構(gòu)或者在基底表面打孔的結(jié)構(gòu)。
r*$f^T!| • 此例程中，矩形排布的金屬鉻圓柱位于熔融石英基底表面。
% 33O)<? • 在堆棧編輯器的視圖中，不同材料根據(jù)
折射率的高低表示為不同深淺的顏色
B; NK\5> （顏色越深，折射率越高）。
<a
-a~ • 注意：堆棧編輯器固定顯示x-z平面的橫截面視圖。
71P. 9Iz J(/J;PW • 請注意：界面添加的順序固定由基底表面開始算起。
YLA(hg| • 選中的界面會(huì)以紅色突出顯示。
JU5,\3Lz# • 此外，無法在此處定義光柵前面的介質(zhì)（指
I
