[技術(shù)]構(gòu)造二維周期性光柵結(jié)構(gòu) [復(fù)制鏈接]

復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)被廣泛應(yīng)用于光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等領(lǐng)域。VirtualLab Fusion 軟件用傅立葉模態(tài)法（FMM,或者RCWA）一種簡(jiǎn)易的仿真方法來(lái)嚴(yán)格分析任意的光柵結(jié)構(gòu)。使用圖形用戶界面，可以設(shè)置堆棧的幾何圖形，從而生成復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。 此例程主要用于構(gòu)建具有二維周期性特征的光柵。• 光柵工具箱中構(gòu)建二維光柵的方法 − 基于介質(zhì)定義的類型 − 基于界面定義的類型 {]R'U/  
• 計(jì)算之前修改高級(jí)選項(xiàng)和檢查定義的結(jié)構(gòu)的方法。 Y7}>yC/GY  
• 提示：在VirtualLab軟件中的光柵結(jié)構(gòu)中，表現(xiàn)為二維周期性的被稱作 三維光柵。同樣的，層狀光柵（一維周期性）被稱作二維光柵。 _AX9Mu]  
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初始化光柵工具箱 :DN!1~ZtW  
• 初始化 w==BS
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− 開始菜單欄 (Start) e,p"=/!aY  
光柵菜單欄(Grating)  u<BU4c/
p  
通用光柵光路圖（三維光柵） General Grating Light Path   Diagram(3D Gratings) BY6#dlDi  
• 提示：對(duì)于特殊類型的光柵，例如柱形光柵， iNA3Y  
可以在光柵工具箱中直接點(diǎn)擊柱形光柵光路 &n k)F<  
圖（三維光柵）(Pillar Grating Light jfxNV2[  
Path Diagram(3D Gratings)) &F&`y  
p`Pa;=L  
設(shè)置光柵結(jié)構(gòu) 6$k#B ~~  
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• 首先，需要定義基底(Base Block)的厚度和介質(zhì)。 IK2da@V  
• VirtualLab中光柵結(jié)構(gòu)在堆棧(stack) 中定義。 gpV4qDXV  
• 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同時(shí)添加堆棧(stack)。 [A-_?#cZ  
• 例如，圖中在前表面添加了堆棧(stack)。 r[L%ap\{  
基于材料定義光柵的類型（例程： 柱形光柵） 7]h