具有直壁或傾斜側(cè)壁的二元
光柵已成為許多
光學(xué)應(yīng)用中的關(guān)鍵部件。 感謝
納米壓印技術(shù)，使小尺寸的光柵的制造已經(jīng)變得可行。
VirtualLab Fusion采用內(nèi)置的傅里葉模態(tài)方法（FMM，也稱(chēng)為RCWA）和不同的
優(yōu)化算法，為二元光柵提供了完整的用戶(hù)友好的設(shè)計(jì)工作流程，和隨后的制造誤差分析，如圓邊效應(yīng)。
s[c^"@HT mU G
%LM 高效偏振無(wú)關(guān)透射光柵的分析與設(shè)計(jì) J70D+ /#t&~E_| &
_K* kI: 我們演示了如何嚴(yán)格分析二元光柵的偏振相關(guān)特性; 以及如何優(yōu)化二元
結(jié)構(gòu)以獲得高偏振無(wú)關(guān)的
衍射效率。
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U+=|J D,rZ0?R 傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與公差分析 #Lka+l;L7 97!5Q~I \6 sQJq 利用傅立葉模態(tài)法（FMM）優(yōu)化傾斜光柵，以實(shí)現(xiàn)將光耦合到波導(dǎo)中的高衍射效率。 分析制造公差，如圓形邊緣。
